儀器:
EDS X射線能量散佈分析儀+SEM 掃描式電子顯微鏡 (SU-1500)
(Energy Dispersive X-ray Analyzer)  ( scanning electron microscopy)

檢測項目:  
可做固態材料所含元素的定性分析、定量分析、面掃描及線掃描分析,並可研究固態物質表面型態。

特色:
1.能放入較大之物件(直徑可達153mm)。
2.低誤差,提供保證二次電子在3.0nm的誤差(高真空模式)和散射電子保證在4.0nm的誤差(可變
壓力模式)。
3.擁有可變壓模式,可以測量一些非導體之物件。